外延片PL譜掃描成像儀

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外延片PL譜掃描成像儀首頁 > 晶片/外延片/襯底片測量設備

外延片PL譜掃描成像儀可在線快速檢測外延片的PL數據，生成高分辨率的Mapping圖，并具有膜厚和反射率測量功能，可為外延片生產工藝控制提供可靠的數據。

目前該設備包括IM-1100、IM-2000、IM-3000三個系列。

IM-1100系列：移動機柜手動型PL譜儀

IM-2000系列：傾斜料倉2、4寸自動型PL譜儀

IM-3000系列：雙臂機械手型PL譜儀

友情鏈接：中國半導體照明網北京中拓機械集團有限責任公司

北京中拓光電科技有限公司版權所有京ICP備12019144號-2

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